随着真空应用(yòng)技术在生产和科(kē)學(xué)研究领域中对其应用(yòng)压强范围的要求越来越宽，大多(duō)需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能(néng)满足生产和科(kē)學(xué)研究过程的要求，由于真空应用(yòng)部门所涉及的工作压力的范围很(hěn)宽，因此任何一种类型的真空泵都不可(kě)能(néng)完全适用(yòng)于所有(yǒu)的工作压力范围，只能(néng)根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用(yòng)不同类型的真空泵。使用(yòng)企业需根据各自的使用(yòng)工况、真空度要求等方面因素考虑如何选取真空泵。
归纳一下各类真空泵适用(yòng)的工艺类型：
1、水环真空泵：适用(yòng)于真空浓缩、真空脱水、真空脱色、真空干燥、真空保鲜、真空储藏、真空输送、真空成型等工艺。
2、往复真空泵：适用(yòng)于真空蒸馏、真空浓缩、真空浸渍、真空过滤、真空造型、真空干燥、钢液真空处理(lǐ)等工艺。往复真空泵与水环真空泵的使用(yòng)工艺基本相同。但是，往复真空泵不能(néng)直接抽水蒸气，需要抽水蒸气时一定要配备冷阱，采用(yòng)制冷压缩机系统冷却。
3、油封机械真空泵(包括滑阀泵、旋片泵、定片泵)：适用(yòng)于真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理(lǐ)等工艺。当前，油封机械真空泵作為(wèi)直排大气的真空泵，使用(yòng)的量大面广。
4、罗茨真空泵(机械增压泵)：适用(yòng)于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺。决大多(duō)数罗茨泵都不能(néng)用(yòng)于直排大气，需要配备旋片泵或滑阀泵作為(wèi)前级泵使用(yòng)。湿式罗茨泵可(kě)以直排大气，主要用(yòng)于造纸工业。
5、油增压泵：适用(yòng)于真空冶炼、真空烧结、真空钎焊、真空热处理(lǐ)等工艺。它与机械增压泵相类似，不能(néng)直排大气，必须用(yòng)旋片泵或滑阀泵等作為(wèi)前级泵使用(yòng)。
6、油扩散泵：适用(yòng)于真空镀膜、真空热处理(lǐ)、真空冶炼、真空提纯、真空分(fēn)析仪器、真空检漏仪、生产電(diàn)真空器件、宇宙空间模拟、加速器真空系统等工艺中使用(yòng)。它适合于抽取高真空，本身不能(néng)直排大气，必须配备前级泵使用(yòng)。
7、干式真空泵(罗杆泵、涡旋泵、爪形泵)：适用(yòng)于无油清洁的真空工艺过程，例如半导體(tǐ)行业、電(diàn)子行业、化工行业等各种工艺中，这几种泵都能(néng)直排大气。
8、吸附泵：适合于各种真空電(diàn)子器件、集成電(diàn)路、分(fēn)析仪器、表面仪器、以及各种要求清洁无油的真空系统中使用(yòng)。
9、钛泵(溅射离子泵、升华泵)：适用(yòng)于真空镀膜、電(diàn)真空器件、大规模集成電(diàn)路、表面物(wù)理(lǐ)、表面化學(xué)、热核物(wù)理(lǐ)、等离子體(tǐ)物(wù)理(lǐ)、超导技术等工作中。
10、分(fēn)子泵：适用(yòng)于真空镀膜、集成電(diàn)路、表面物(wù)理(lǐ)、表面化學(xué)、等离子體(tǐ)物(wù)理(lǐ)、光學(xué)仪器、热核反应、宇航技术等工作中。
11、水喷射泵：适合于真空倒料、真空输送、化工、化纤、制药、油漆、油脂、造纸、烧碱、制糖、食品、制砖、真空除氧等工业领域。
12、水蒸气喷射泵：适合于真空冶炼、真空脱气、真空蒸发、真空干燥、真空回潮等工业领域。
13、低温泵：适合于真空镀膜、表面物(wù)理(lǐ)、超导技术、宇航技术等领域中。
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