螺杆真空泵在使用(yòng)时常会用(yòng)到氮气进行填充，主要是因為(wèi)用(yòng)氮气对泵进行吹扫，可(kě)以延缓腐蚀性气體(tǐ)对泵的腐蚀，从而起到一个良好的保护作用(yòng)。
螺杆真空泵為(wèi)什么要用(yòng)氮气，我们可(kě)以总结為(wèi)以下几个原因：
1、螺杆真空泵里冲入氮气是為(wèi)了在真空泵内壁形成微弱保护气膜，氮气压力不宜过大，也不宜过小(xiǎo)，过大会影响抽真空效果和增加能(néng)耗；过小(xiǎo)可(kě)能(néng)导致形不成保护效果。
2、抽腐蚀性气體(tǐ)的泵会用(yòng)到氮气，氮气对泵进行吹扫，延缓腐蚀性气體(tǐ)对泵的腐蚀。
3、是真空镀膜工艺中用(yòng)到的一些气體(tǐ)对螺杆真空泵有(yǒu)腐蚀作用(yòng)，所以会采用(yòng)这种泵。但是墙體(tǐ)里通的氮气和泵用(yòng)的是分(fēn)开的。
4、冲多(duō)少单位的氮气后就能(néng)镀膜出他(tā)们需要的颜色。有(yǒu)些颜色用(yòng)乙炔。在实际运用(yòng)中，多(duō)数使用(yòng)氩气。
5、气密，稀释制程气體(tǐ)。减轻腐蚀及制程附着。
6、氮气在没有(yǒu)一定的温度、压力或者是催化剂等辅助条件下，很(hěn)难与外界发生反应。因此在泵系统清洗过程中，利用(yòng)氮气吹扫，更為(wèi)安全可(kě)靠。
7、氮气的吸附热小(xiǎo)，吸附于物(wù)體(tǐ)表面的时间短。当氮气吸附于螺杆真空泵的器壁表面时，将会很(hěn)容易被抽走。真空系统清洗中的氮气吹扫正式利用(yòng)了它的这个特性。在真空镀膜中，用(yòng)干燥氮气吹扫清洗过真空系统后，氮分(fēn)子会首先吸附于真空系统的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分(fēn)子沾满后，其他(tā)的分(fēn)子如水分(fēn)子等就会减少。因而真空系统的整个抽气时间就会大大减少。
氮气是一种稳定无害的气體(tǐ)，可(kě)以很(hěn)好的对螺杆真空泵起到保护作用(yòng)，有(yǒu)效延長(cháng)使用(yòng)寿命，减缓腐蚀问题。
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