质谱分(fēn)析仪一般选用(yòng)的真空泵是爱德华 E2M0.7、E2M1.5 这2款型号，真空泵使用(yòng)到一定的时间要做保养与维修。
质谱真空泵必须由接受过适当培训的技术员来维护，确认该技术员对泵油及系统的产物(wù)十分(fēn)熟悉，做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度，断开泵及其他(tā)元件与電(diàn)路的连接，以避免发生意外。维护完毕，在没接上電(diàn)源之前，重新(xīn)检查一下泵的旋转方向。O型圈和垫圈如果损坏不可(kě)重复利用(yòng)。
在运转过程中，质谱真空泵和油会受到化學(xué)品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有(yǒu)害物(wù)质对人员的伤害，维护完毕后，应检查是否有(yǒu)泄露的地方，如有(yǒu)，应重新(xīn)密封。不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解的产物(wù)，它们是很(hěn)危险的，包括油、油脂和真空脂。
一、检查前置真空泵油位：
根据需要，可(kě)以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与
二、電(diàn)源的连接。
1、透过前置真空泵的可(kě)视窗口检查油位是否在z*低限以上，z*高限以下。
2、如果油位在z*低限或低于z*低限，打开加油孔，加油至z*高限，如加得过满可(kě)从出口放掉点。
3、如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
三、更换前置真空泵油：
1、开启泵运转10分(fēn)钟以加热泵油，然后关泵(油加热后可(kě)降低其粘性，比较容易倒出来)。
2、断开泵和電(diàn)路及真空系统的连接。
3、取下加油孔的塞子。
4、将泵放在一个适当的支撑物(wù)(如：凳子)上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力的作用(yòng)下流到容器中。
5、油受到污染时：
（1）取下加油孔的塞子，倒进干净的油。
（2）重新(xīn)连上泵和電(diàn)路的连接，开泵运转5-10分(fēn)钟。
（3）断开泵和電(diàn)路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。
（4）重复上述步骤直到将泵清洗干净。
6、塞上排油口的塞子，移掉支撑物(wù)，重新(xīn)接上泵和電(diàn)路及真空系统的连接 。
7、装上新(xīn)油，直到油位达到MAX位置附近。
8、等几分(fēn)钟直到油抽到泵中，需要的话，可(kě)再添油(需再关泵)。塞上加油孔的塞子。
四、检查和清洁前置真空泵入口过滤器
1、旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。
2、用(yòng)适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。
3、重新(xīn)装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ring和入口转接器。
五、清洁前置真空泵载气滤网：
1、取下固定垫圈。
2、取下金属丝网及滤头元件。
3、用(yòng)合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新(xīn)装在泵上。
4、重新(xīn)固定好固定垫圈。
六、清洗马达风扇周围：
1、关掉真空泵，断开其与電(diàn)源的连接。
2、利用(yòng)干的布或毛刷清除電(diàn)动机的风扇罩和围栏的污染物(wù)。
！注意:如果電(diàn)动机的风扇罩及周围不保持干净的话，进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。
